三氯氢硅专用硅粉生产工艺
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三氯氢硅专用硅粉生产工艺

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三氯氢硅专用硅粉生产工艺

  • 世界上主要的几种多晶硅生产工艺

    2010年3月10日  世界上主要的几种多晶硅生产工艺 1, 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳

  • 多晶硅三氯氢硅生产工艺流程合成氯化氢反应

    2023年1月24日  三氯氢硅生产主要有3个工序:三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。 1、三氯氢硅合成生产工艺 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加热至一定的温度,然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐,最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉,与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应;生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法,主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。 氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢,氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐,然后送三氯氢硅合成炉。

  • 三氯氢硅制备工艺介绍 道客巴巴

    2013年3月13日  三氯氢硅制备有不同的工艺, 目 前生产大多采用流化床法工艺, 主流生产工艺有改良西门子法硅粉转化和氯氢化的四氯化硅转化 法两种。 文中 介绍 这两种 工艺, 其中DCS, TCS, STC, S i 分别表示二氯氢硅、 三氯氢硅、 四 氯 化 硅 及 金 属 级 硅 粉 (S iH2C l2, S iHC l3,S iHC l4, MG-S i), CVD 表示多晶硅产品 的氢气还原炉。

  • 三氯氢硅生产工艺 百度文库

    硅粉精制工艺 21 硅粉的性质 硅的密度为2329kg\cm3,沸点为2355℃,熔点为1480~1500℃,在三氯氢硅生产中其水分小于200ppm。 有水易于形成盐酸,盐酸因含有游离氢而腐蚀设备,其爆炸极限下限为160g\ cm3。 硅在地壳中分部很广,约占地壳总质量的1/4,仅次于氧。 主要分部于黑龙江、吉林。 硅分无定形硅和晶体硅。 晶体硅是灰色有

  • 三氯氢硅生产工艺流程 百度文库

    三氯氢硅生产工艺流程 (1)在高温下Si和HCl反应。 (2)用氢还原四氯化硅 (采用含铝化合物的催化剂)。 4理化性质 分子量:13543 熔点 (101325kPa):134℃;沸点 (101325kPa):318℃;液体密度 (0℃):1350kg/m3;相对密度 (气体,空气=1):47;蒸气压 (164℃):133kPa; (14

  • 三氯氢硅制备工艺介绍

    从工艺流程、工艺特点、核心设备结构等方面介绍了国内两种生产多晶硅所需的三氯氢硅制备工艺:改良西门子法和氯氢化法前者以硅粉和氯化氢为原料制备三氯氢硅,其原料来源广、价格低廉;而后者以难处理的四氯化硅与氢气、硅粉、氯化氢为原料制备三氯氢硅

  • 三氯氢硅合成及后处理单元工艺优化研究 百度学术

    3SiHCl是重要的硅基单体原料,广泛应用于电子基板,光伏电池板原材及有机硅生产领域目前最常用的3SiHCl生产技术是直接氯化法(或称硅氢氯化法),利用Si与HCl在适宜的条件下反应生成3SiHCl,4SiCl等氯硅烷混合物,反应温度,反应器的压力和压差,Si与HCl的摩尔比

  • 三氯氢硅专用硅粉生产工艺

    2021年9月10日  生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅,由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝,制得三氯氢硅成品。 三氯氢硅 产品生产技术:生产工艺采用目前国内最先进、成熟、可靠的方法——硅粉氢氯化法,也叫西门子法。

  • 三氯氢硅生产及工艺 百度学术

    张祖光 摘要: 对三氯氢硅的市场情况进行了预测,简述了三氯氢硅的生产工艺,并对生产工艺中的危险性进行了分析,提出相应的措施 关键词: 三氯氢硅 有机硅 硅烷偶联剂 DOI: 103969/jissn10035059200908023 被引量: 41